講座題目：傳感器生產的薄膜工藝和設備製造 Thin Film Process and Equipment for MEMS Manufacturing

報 告 人🪤：唐雲俊

時 　 間：2019年10月30日(周三)9:00-11:00

地 　 點💷：中關村校區5號教學樓502-1

主辦單位：意昂平台、材料學院

報名方式🧉：登錄意昂官网微信企業號---第二課堂---課程報名中選擇“【百家大講堂】第262期👩🏼‍🚀：傳感器生產的薄膜工藝和設備製造”

【主講人簡介】

  美國AVP科技公司總技術官，中科院物理所固體物理博士，為薄膜材料、半導體工藝和設備專家🏞。曾為中科院物理所付研究員，UCSD研究科學家。也曾就職於西部數據公司🍸，任高級研發工程師，負責寫磁頭薄膜沉積𓀋、刻蝕🧖‍♀️，以及器件的工藝合成。研發新材料💍🪥、新工藝✊🏻✅，並製定工藝製度，發現並解決器件工藝製備過程中各種問題🈷️。精通微納器件製造各種工藝流程、設備特性、研發和製造技術🏄🏽。在國際期刊發表50多篇學術論文👨‍👩‍👧，並有十多個中、美專利。曾為美國《Physical Review B》，《J. Appl. Phys.》及英國Institute of Physics 期刊雜誌審稿人。
  唐博士具有長期的企業技術、企業戰略規劃實施和企業運營的豐富經驗👃🏻。長期以來🎋，負責各種~8英寸工業生產鍍膜機（PVD）🧚🏻、離子刻蝕機（IBE）、反應刻蝕機（RIE）📿、離子鍍膜機（IBD），以及in-line光伏電池製備鍍膜設備的技術研發🚋、生產🧛🕵🏼、銷售;同時負責各種薄膜材料工藝研發，包括🦖，低損耗光學薄膜🏌🏼‍♂️，光伏薄膜、超硬薄膜👩🏿‍🎤🤴🏼，極耐磨薄膜，耐高溫、高反射合金薄膜🎭，防靜電薄膜等等，並研究其機械、光、電、磁等物理性能☠️，及工業生產的安全性🧑‍🍼、可靠性、持續性、高產能、低消耗等生產要求，使之應用於工業生產👱🏼。負責企業日常運營、管理。堅持為客戶服務的理念，與客戶緊密合作🛩，了解客戶生產狀況，及時幫助客戶分析、解決生產中的各種問題🥝；了解客戶新產品、新技術開發前景，及時製定研發👂、生產、銷售戰略🧑‍🦲，達到企業持續增長。

【講座信息】

  介紹MEMS生產過程中薄膜沉積和刻蝕的基本工藝，及相關PVD、IBE等設備設計生產的基本要求🙇🏿。圍繞薄膜沉積、刻蝕的基本要求🧝🏽‍♂️，如工藝特點🐈‍⬛、薄膜粘著性😱、均勻度、結構、性能、顆粒、溫度💄🎱、產能等，介紹半導體設備設計的一些思路和案例👩🏿‍🦰。